【流量单位中SCCM是什么】SCCM是质流单位 , 表示标准毫升每分钟,与一般常用的流量单位是不同的,常见的流量单位例如:1毫升每秒,代表单位时间流过的体积 , 而质流是表示单位时间通过的气体莫耳数,这种单位通常用于化学反应中 , 如CVD等需要精确控制原子成分比之场合 。
【流量单位中SCCM是什么】SCCM是质流单位 , 表示标准毫升每分钟,与一般常用的流量单位是不同的,常见的流量单位例如:1毫升每秒,代表单位时间流过的体积 , 而质流是表示单位时间通过的气体莫耳数,这种单位通常用于化学反应中 , 如CVD等需要精确控制原子成分比之场合 。