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电子显微镜成像原理 显微镜成像原理

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随着科学技术的进步，人们越来越需要观察微观世界，显微镜正是这样的设备，它突破了人类的视觉极限，使之延伸到肉眼无法看清的细微结构 。显微镜技术的告诉发展，使之更广范地应用于金属材料，生物学，化工等领域 。
显微镜的光学原理
1、折射和折射率
光线在均匀的各向同性介质中，两点之间以直线传播，当通过不同密度介质的透明物体时，则发生折射现像，这是由于光在不同介质的传播速度不同造成的 。当与透明物面不垂直的光线由空气射入透明物体时，光线在其介面改变了方向，并和法线构成折射角 。
2、透镜的性能
透镜是组成显微镜光学系统的最基本的光学元件，物镜、目镜及聚光镜等部件均由单个和多个透镜组成 。依其外形的不同，可分为凸透镜(正透镜)和凹透镜(负透镜)两大类 。当一束平行于光轴的光线通过凸透镜后相交于一点，这个点称”焦点”，通过交点并垂直光轴的平面，称”焦平面” 。
焦点有两个，在物方空间的焦点，称”物方焦点”，该处的焦平面，称”物方焦平面”；反之，在像方空间的焦点，称”像方焦点”，该处的焦平面，称”像方焦平面” 。光线通过凹透镜后，成正立虚像，而凸透镜则成正立实像，实像可在屏幕上显现出来，而虚像不能 。
影响成像的关键因素
由于客观条件，任何光学系统都不能生成理论上理想的像，各种像差的存在影响了成像质量 。
1、色差（Chromatic aberration）
【电子显微镜成像原理 显微镜成像原理】 色差是透镜成像的一个严重缺陷，发生在多色光为光源的情况下，单色光不产生色差 。光学系统最主要的功能就是消色差 。色差一般有位置色差，放大率色差，位置色差使像在任何位置观察都带有色斑或晕环，使像模糊不清，而放大率色差使像带有彩色边缘 。
2、球差 (Spherical aberration)
球差是轴上点的单色相差，是由于透镜的球形表面造成的 。球差造成的结果是，一个点成像后，形成一个中间亮边缘逐渐模糊的亮斑，从而影响成像质量 。球差的矫正常利用透镜组合来消除，由于凸、凹透镜的球差是相反的，可选配不同材料的凸凹透镜胶合起来给予消除 。
3、慧差 (Coma)
慧差属轴外点的单色像差 。轴外物点以大孔径光束成像时，发出的光束通过透镜后，不再相交一点，则一光点的像便会得到一逗点状，型如慧星，故称”慧差” 。
4、像散（Astigmatism）
像散也是影响清晰度的轴外点单色像差 。当视场很大时，边缘上的物点离光轴远，光束倾斜大，经透镜后则引起像散 。像散使原来的物点在成像后变成两个分离并且相互垂直的短线，在理想像平面上综合后，形成一个椭圆形的斑点，可以通过复杂的透镜组合来消除 。
5、场曲（Curvature of field）
场曲又称”像场弯曲” 。当透镜存在场曲时，整个光束的交点不与理想像点重合，虽然在每个特定点都能得到清晰的像点，但整个像平面则是一个曲面 。这样在镜检时不能同时看清整个像面，给观察和照相造成困难 。
6、畸变（Distortion）
前面所说各种像差除场曲外，都影响像的清晰度 。畸变是另一种性质的像差，光束的同心性不受到破坏 。因此，不影响像的清晰度，但图像与原物体比，在形状上造成失真 。
显微镜的成像原理
显微镜之所以能将被检物体进行放大，是通过透镜来实现的 。单透镜成像具有像差，严重影响成像质量，因此显微镜的主要光学部件都由透镜组合而成 。从透镜的性能可知，只有凸透镜才能起放大作用，而凹透镜则不行 。
显微镜的物镜与目镜虽都由透镜组合而成，相当于一个凸透镜 。简要说明一下凸透镜的成像规律：
1、当物体位于透镜物方二倍焦距以外时，则在像方二倍焦距以内、焦点以外形成缩小的倒立实像 。
2、当物体位于透镜物方二倍焦距上时，则在像方二倍焦距上形成同样大小的倒立实像 。
3、当物体位于透镜物方二倍焦距以内，焦点以外时，则在像方二倍焦距以外形成放大的倒立实像 。
4、当物体位于透镜物方焦点上时，则像方不能成像 。
5、当物体位于透镜物方焦点以内时，则像方也无像的形成，而在透镜物方的同侧比物体远的位置形成放大的直立虚像 。
显微镜的成像原理就是利用上述3和5的规律把物体放大的 。当物体处在物镜前F-2F（F为物方焦距）之间，则在物镜像方的二倍焦距以外形成放大的倒立实像 。
在显微镜的设计上，将此像落在目镜的一倍焦距F1之内，使物镜所放大的第一次像，又被目镜再一次放大，最终在目镜的物方、人眼的明视距离（250mm）处形成放大的直立虚像 。因此，当我们在镜检时，通过目镜看到的像与物体方向相反 。
显微镜光学系统
显微镜光学系统的设计有三种光学系统 。
1、长筒光学系统：即物镜像方焦点到目镜物方焦点的距离，采用有限远光学系统 。
2、万能无限远校正光学系统：是较先进的光路设计，它体现了无限远校正方式的优越性 。
3、万能无限远双重色差校正光学系统：是目前最先进的光路设计，不但能矫正位置色差，同时还能矫正倍率色差，提供最高反差、最高衬度、最高分辨率的最锐利图象 。
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