韩氏激光技术有限公司是一家总部位于的公司,主要从事激光和自动辅助设备的制造 。该公司今天回应投资者的问题说,正在开发的光刻机已经收到了少量订单 。
该公司表示,其正在开发的光刻机项目的分辨率为3-5μm(3,000-5,000 nm),主要用于分立器件和LED等应用 。
高端芯片制造光刻机已被荷兰ASML公司垄断,其定价为数百亿美元 。相反,的半导体工业起步较晚,光刻技术与ASML之间的差距非常大 。
在市场,位于合肥的Advantools Semiconductor和无锡盈环半导体都有能力批量生产200 nm光刻机 。上海微电子设备有限公司生产的90 nm光刻机是目前技术水平最高的光刻机 。
随着大族激光的制程光刻项目的推进,有望为光刻技术的发展提供一点推动力 。
与此同时,在上周的一次活动中,华为消费者业务首席执行官理查德·于(Richard Yu)表示,华为将扎根于各个领域,突破基础研究,物理和材料科学领域的精密制造。
在终端设备方面,华为在材料和核心技术上进行了大量投资,以实现新材料和新工艺之间的紧密联系,突破了制约创新的瓶颈 。
【公司Han's Laser表示已收到其制版光刻机的订单】
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